濕法蝕刻工藝對銅及其合金蝕刻劑的簡（jiǎn）述

       濕蝕刻法已經廣泛應用於生產各微元件。操作的（de）的過程較（jiào）易操作。工藝過（guò）程中最重要的是（shì）選擇合適的溶液（yè）（即生產時用的蝕（shí）刻劑）。它的濃度會影（yǐng）響產品的表麵光潔度和蝕刻速率。銅及其（qí）合金應用於（yú）各行業，特別是（shì）電子行業的生產。基於銅優異的（de）導熱性和導電（diàn）性，易於（yú）製造和以及銅的強度優良，因此得到了廣泛的應用（yòng）。

       用於銅濕法蝕刻（kè）的蝕刻劑

       氯化鐵是濕蝕刻過程中應用最廣泛的蝕刻（kè）劑。優點是蝕刻速（sù）率高，且易於再生，對環（huán）境不會有多次傷害（hài）。但其多功能性(如對錫鉛的耐腐蝕劑)、低溶（róng）解銅容量和化學再生後的複雜溶液，鐵（tiě）侵蝕銅表麵時，三價（jià）鐵離子（zǐ）將（jiāng）銅氧化（huà）成氯化銅，形成綠色氯化鐵，如下：

       二氯化鐵 銅->二氯化鐵 氯化銅（tóng）

       銅的濕蝕刻條（tiáo）件是溫度為50-55℃，蝕刻劑濃（nóng）度為40-42倍。鹽酸（suān）(HCl)加（jiā）入三氯化鐵，以提高銅的濕腐蝕性。

       在銅的濕蝕刻過（guò）程，需控製兩個（gè）參（cān）數（shù），即比例和pH值。pH值保持（chí）在（zài）8-8.5之間.比重為1.18-1.20。建議將溫度保持在50℃，以獲得（dé）高蝕刻速率。