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濕（shī）蝕刻和幹蝕刻有什麽區別

來源： | 時間：2022-07-06 | 閱讀文本僅需2分鍾

濕蝕刻采用的是酸堿性的腐蝕液為蝕刻劑，通過抗腐蝕層保護不去除的部分。這種（zhǒng）利用液態環境對金屬進（jìn）行腐蝕的工藝也（yě）稱為濕蝕刻，其特點是操作簡（jiǎn）便、易實現機器設備自動化生產，通常來說大部分的金屬都可以蝕刻，濕蝕刻應用領域則主要（yào）以金屬蝕刻為主。

（濕蝕刻）

幹蝕刻采用的蝕刻（kè）劑是（shì）等離子體，其工作原理是利用等離子體和表麵薄膜反應，形成揮發性物質，或（huò）者直接轟擊薄膜表麵使之腐蝕的工藝，它的（de）特點是，可以實現各項異性刻蝕，從而保證（zhèng）細心圖形轉移後的保真（zhēn）性，幹（gàn）蝕刻的（de）設（shè）備造（zào）價比較高，應用的領域主要以半導體為主。

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